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科普 - 等離子體科學(xué)技術(shù) - 列表
3.3.3 陽(yáng)極鞘層
3.3.4 等離子體鞘
3.4.1 高頻等離子體的發(fā)生方法
3.4.2 高頻等離子體反應(yīng)裝置的等效電路
3.4.3 電場(chǎng)頻率對(duì)氣體放電機(jī)制的影響
3.4.4 高頻放電的效率
3.4.5 利用高頻放電的原因
3.4.6 阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)
3.4.7 高頻電極的自偏壓
3.4.8 電位分布和高頻鞘
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