3.3.3 陽極鞘層

所屬欄目:等離子體科學技術

3.3.3 陽極鞘層

(1)陽極鞘層的結構陽極鞘層除鞘電壓的大小外,本質上與浮置基板前的等離子體鞘相同。為滿足Bohm判據,進入鞘層的離子必須要有(kTe)/e的能量,因此也有一個準中性的過渡區(qū)。陽極鞘層的厚度很薄,通常比陰極鞘層約小一個數量級。但 ......(本文共 1676 字 , 1 張圖)     [閱讀本文] >>


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