3.4.2 高頻等離子體反應(yīng)裝置的等效電路

所屬欄目:等離子體科學技術(shù)

3.4.2 高頻等離子體反應(yīng)裝置的等效電路

平行板型等離子體反應(yīng)裝置的等效電路如圖3-13所示。圖3-13平行板型等離子體反應(yīng)裝置的等效電路 ......(本文共 48 字 , 1 張圖)     [閱讀本文] >>


推薦內(nèi)容


科普

更多