3.4.5 利用高頻放電的原因

從上述的討論中已經(jīng)可以看到高頻放電的優(yōu)點(diǎn)。如無(wú)電極放電獲得純凈的等離子體,增強(qiáng)電離提高放電效率等等。除此以外,還有一種情況,即當(dāng)電極上覆蓋絕緣性物質(zhì)時(shí),就必須采用高頻放電不可了。電極上有絕緣層的情況在等離子體 ......（本文共 1090 字 , 3 張圖）     [閱讀本文] >>