3.3.4 等離子體鞘

輝光放電中的陰極鞘層和陽極鞘層是等離子體與電極接觸而產(chǎn)生的。實(shí)際上當(dāng)?shù)入x子體與容器壁接觸或在等離子體中插入任何一個(gè)絕緣體的表面也都會(huì)產(chǎn)生鞘層。等離子體化學(xué)中的許多現(xiàn)象和工藝技術(shù)都與電極或基片表面附近鞘層 ......（本文共 3347 字 , 13 張圖）     [閱讀本文] >>