3.4.7 高頻電極的自偏壓

高頻電極的自偏壓是一個重要的問題。但是并不是所有的射頻放電裝置都會產(chǎn)生自偏壓。如果射頻放電回路中沒有隔直電容器,則不會產(chǎn)生自偏壓如圖3-19(a)所示。如果射頻放電回路中有隔直電容器,則會產(chǎn)生自偏壓如圖3-19(b)所示。圖 ......（本文共 1714 字 , 4 張圖）     [閱讀本文] >>