3.4.4 高頻放電的效率

高頻放電在增強(qiáng)電離和維持放電等方面比直流輝光放電有效得多,這已被許多實(shí)驗(yàn)事實(shí)所證明。首先,隨著頻率的增加,能夠產(chǎn)生自持放電的最低允許氣壓明顯下降。當(dāng)頻率為13.56MHz時氣壓低于1.33×10-1Pa還可維持放電。另外,放電氣壓相 ......（本文共 1626 字 , 4 張圖）     [閱讀本文] >>