所屬欄目：等離子體科學(xué)技術(shù)
圖3-10是高頻等離子體發(fā)生裝置的方框圖。圖3-10高頻等離子體發(fā)生裝置的方框圖其中高頻振蕩器必須能承受負載阻抗的大幅度變化。從振蕩器發(fā)出的信號先經(jīng)過脈沖放大器放大,再經(jīng)過功率放大后輸出。阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)是為了使負載阻 ......（本文共 806 字 , 3 張圖） [閱讀本文] >>
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