擴(kuò)散泵
擴(kuò)

擴(kuò)散泵　　　kuò sàn bèng

利用蒸氣流進(jìn)行工作的一類真空泵。用油類作為蒸氣源的，稱為“油擴(kuò)散泵”；用汞的稱為“水銀擴(kuò)散泵”。工作時(shí)必須與前級(jí)泵（如*轉(zhuǎn)動(dòng)真空泵）一同使用，應(yīng)在前級(jí)泵把待抽容器抽到一定真空度（1～0.1帕）以后，擴(kuò)散泵才開(kāi)始工作，此時(shí)泵底的油經(jīng)電爐加熱化為蒸氣，上升后在各級(jí)噴口內(nèi)高速噴出，容器中的氣體分子擴(kuò)散到氣流中去，被蒸氣分子攜帶下降，壓縮為較大的濃度而被前級(jí)泵抽出；油蒸氣本身則受泵殼外水冷管的冷卻而重新液化，回入油槽。這樣周而復(fù)始，一般可使被抽容器內(nèi)的真空度提高到10²～10⁵帕范圍。使用經(jīng)過(guò)特殊處理的擴(kuò)散泵，還可得到超高真空（10⁵帕以下）。除了油和汞以外，可用作擴(kuò)散泵蒸氣源的還有碘、石蠟等。