二、掃描電鏡分析

掃描電鏡(scanningelectronmicroscope,SEM)的基本裝置如圖4-3所示,主要包括電子光學(xué)系統(tǒng)、樣品室、信號(hào)處理與顯示系統(tǒng)和真空系統(tǒng)四部分。電子光學(xué)系統(tǒng)主要由電子槍、電磁透鏡和掃描線圈組成。由電子光學(xué)系統(tǒng)產(chǎn)生的電子束與樣品表面 ......（本文共 2813 字 , 18 張圖）     [閱讀本文] >>