薄膜材料
薄

薄膜材料　　　báo mó cái liào

利用特殊的制備技術(shù)（如濺射沉積、化學(xué)氣相沉積、分子或離子束外延、電子槍蒸鍍等）在襯底（金屬、半導(dǎo)體等）表面形成厚度為納米至微米級(jí)的一層材料。按不同的用途有磁性膜、光學(xué)膜、半導(dǎo)體膜、電阻膜、超導(dǎo)膜等，另外薄膜涂層還可達(dá)到耐磨、耐蝕、硬化、保護(hù)、固體潤(rùn)滑、裝飾等目的。