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納米電子學(xué)

納米電子學(xué)   

以量子化功能器件為基礎(chǔ)的新型微電子學(xué)。包括半導(dǎo)體納米電子學(xué)、超導(dǎo)體納米電子學(xué)、納米光電子學(xué)以及混合納米電子學(xué)。其器件尺寸將小于電子平均自由程,即小于電子的德布羅意波長,器件的行為將表現(xiàn)出強烈的波動性,故有時亦稱為電子波電子學(xué)。主要研究器件的量子效應(yīng)和電子運動過程,特別是尺寸效應(yīng)以及新物理現(xiàn)象;新型電路和系統(tǒng)設(shè)計;新型器件結(jié)構(gòu)以及超微細加工技術(shù),包括原子植入與移走的納米器件加工技術(shù)。


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