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潔凈室技術(shù)

潔凈室技術(shù)   

使室內(nèi)維持一定溫度、濕度、靜壓和空氣潔凈度的技術(shù)。其中空氣潔凈度以潔凈級(jí)別表示,例如,“100級(jí)”潔凈室指室內(nèi)空氣中≥0.5微米的粒子在0.304 8立方米(1立方英尺)空氣中不超過(guò)100粒(3.5粒/升)。該技術(shù)的基本手段是以空氣調(diào)節(jié)技術(shù)為基礎(chǔ),強(qiáng)化空氣過(guò)濾設(shè)施(如使用對(duì)0.3微米粒子具有99.97%過(guò)濾效率的高效過(guò)濾器)等來(lái)實(shí)施的。按控制對(duì)象可分為:(1)工業(yè)潔凈室,用于微電子工業(yè)等,以控制塵粒為目標(biāo);(2)生物潔凈室,如制藥車(chē)間等,以控制微生物粒子為對(duì)象。按室內(nèi)氣流狀態(tài)分有平行流潔凈室和非平行流潔凈室。日常運(yùn)行管理也是潔凈室技術(shù)的重要環(huán)節(jié)。


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