橢圓偏振儀
橢

橢圓偏振儀　　　

亦稱“橢圓度計(jì)”。利用光在界面反射和折射時(shí)所引起偏振性質(zhì)的改變來測定介質(zhì)薄膜材料的厚度和折射率，以及研究界面表面性質(zhì)的一種檢測儀器。一般采用氦-氖激光器作為單色光源，光束先經(jīng)過*起偏器和四分之一波片，以一定角度入射到被研究的介質(zhì)薄膜上，然后用*檢偏器及光電接收器來檢定反射光的偏振態(tài)。從起偏振器和檢偏振器的方位角以及給定的入射角條件可推算薄膜的厚度和折射率。常用于測量半導(dǎo)體表面的介質(zhì)層和光致抗蝕劑的厚度。