微細加工
微

微細加工　　　wēi xì jiā gōng

一種制造微小尺寸零器件或薄膜圖形的方法。加工尺度從亞毫米到毫微米量級，而加工單位則從微米到原子或分子線度量級。其加工方法有分離、接合和變形等三種形式。廣泛地應用于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路、特種新穎器件、電子元器件及精密機械零件的加工制造。