平面工藝
平

平面工藝　　　píng miàn gōng yì

硅器件和集成電路的一整套優(yōu)越的制備工藝的總稱。特點是：由外延、氧化、光刻、擴散等工藝制成器件和電路，芯片表面基本呈平面狀，各電極都在該平面上引出；在平面工藝的全部過程中，芯片表面有二氧化硅層保護，避免了對PN結(jié)的沾污，制成的器件和電路有良好的穩(wěn)定性和可靠性。廣泛應(yīng)用于硅器件和集成電路的研制和生產(chǎn)中。