光學(xué)平晶
一種由光學(xué)玻璃制成的圓形測量工具。其上下兩面為精密度極高的平面,有的上下兩平面間有極高的平行度。利用光波干涉原理,以檢驗(yàn)量塊和精密量具(或精密工件)測量面的平面度、平行度,也可將被測量塊或量具與標(biāo)準(zhǔn)量塊相比較以測定其尺寸誤差。
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光學(xué)平晶
一種由光學(xué)玻璃制成的圓形測量工具。其上下兩面為精密度極高的平面,有的上下兩平面間有極高的平行度。利用光波干涉原理,以檢驗(yàn)量塊和精密量具(或精密工件)測量面的平面度、平行度,也可將被測量塊或量具與標(biāo)準(zhǔn)量塊相比較以測定其尺寸誤差。