半導(dǎo)體化學(xué)
半

半導(dǎo)體化學(xué)　　　 bàn dǎo tǐ huà xué

研究半導(dǎo)體材料及器件的制造和特性的一門化學(xué)學(xué)科。其主要內(nèi)容包括半導(dǎo)體材料的晶體生長化學(xué)、晶體雜質(zhì)和缺陷化學(xué)、擴散過程、表面化學(xué)、溶液化學(xué)、電化學(xué)、光電化學(xué)和等離子體腐蝕等。