高性能雙模式壓電驅(qū)動(dòng)氮化鋁音叉型諧振器
傳感技術(shù)學(xué)報(bào)
頁(yè)數(shù)： 7 2024-11-15
摘要： 設(shè)計(jì)并制造了一種面向質(zhì)量傳感器應(yīng)用的高性能雙模式壓電驅(qū)動(dòng)音叉型諧振器。測(cè)試結(jié)果表明，真空中該諧振器扭轉(zhuǎn)振動(dòng)模式的Q值為9 274,面內(nèi)彎曲振動(dòng)模式的Q值為11 379;空氣中兩種振動(dòng)模式的Q值分別為1 019和1 059,使該諧振器可以靈活應(yīng)用在不同空氣阻尼環(huán)境中。通過(guò)有限元仿真研究了兩種振動(dòng)模式對(duì)音叉結(jié)構(gòu)不同位置和覆蓋率的質(zhì)量負(fù)載的靈敏度特性。研究結(jié)果表明，扭轉(zhuǎn)振動(dòng)模式和面內(nèi)... （共7頁(yè)）
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