晶面取向?qū)iN涂層導電性能的影響研究

摘要： 目的 TiN涂層的晶面擇優(yōu)生長取向?qū)ζ湫阅苡酗@著影響，當前TiN涂層晶面取向?qū)ζ鋵щ娦阅艿挠绊憴C理尚未明確。因此，將模擬計算與實驗研究相結(jié)合，開展晶面取向?qū)ν繉訉щ娦阅苡绊懙难芯俊７椒?采用第一性原理計算研究了晶面取向?qū)iN表面能、能帶結(jié)構(gòu)、態(tài)密度、電荷布居及自由電子相對濃度的影響。同時，利用HiPIMS技術(shù)實現(xiàn)了不同晶面取向TiN涂層的制備。結(jié)果 經(jīng)過理論計算，TiN(20... （共9頁）

質(zhì)子交換膜燃料電池 雙極板 TiN涂層 HiPIMS 晶面取向 導電性能