電子束品質(zhì)評價(jià)方法綜述

摘要： 電子顯微類儀器廣泛應(yīng)用于微納觀測與精密加工領(lǐng)域，屬于高端科學(xué)儀器。如何有效評價(jià)電子束品質(zhì)是儀器開發(fā)者與使用者所關(guān)心的問題。然而，電子顯微類儀器種類眾多，根據(jù)應(yīng)用的不同，電子束品質(zhì)評價(jià)方法也有很大差異。因此，建立規(guī)范化的電子束評價(jià)方法，客觀、準(zhǔn)確和方便地評價(jià)電子束品質(zhì)，是電子顯微類儀器研制和應(yīng)用方面的重要內(nèi)容。本文基于電子顯微類儀器中電子束性質(zhì)，針對束流、束斑、束流密度和電子槍亮... （共11頁）