金剛石SBD及RF-DC電路應(yīng)用研究
固體電子學(xué)研究與進(jìn)展
頁數(shù)： 5 2024-12-25
摘要： 采用微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備對單晶金剛石襯底進(jìn)行氫等離子體處理，形成氫終端金剛石表面空穴電導(dǎo)，制備氫終端肖特基二極管。二極管采用金作為陰極金屬，鋁作為肖特基金屬。接著通過金線鍵合技術(shù)制備了RF-DC電路。二極管表現(xiàn)出良好的整流特性，在正向電壓為-5 V時，電流大小為1.13 mA。RF-DC電路采用了雙金剛石肖特基二極管，確保信號輸入的全周期都能保持工作。在10 MHz頻段... （共5頁）
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