腔體型超表面非制冷紅外探測器

摘要： 隨著非制冷紅外探測器像元尺寸的逐步縮小，提高探測器吸收率變得越來越重要。該文章基于現(xiàn)有的制備工藝，提出了一種IMIAM(Insulator-Metal-Insulator-Air-Metal)腔體型超表面非制冷紅外探測器結(jié)構(gòu)，在增強(qiáng)探測器吸收的同時(shí)有效改善了光敏層受熱的均勻性。通過系統(tǒng)的仿真優(yōu)化，其在長波紅外波段（8～14μm）的平均吸收率超過了97%，使器件幾乎實(shí)現(xiàn)了百分百的... （共7頁）