離軸拋物面反射鏡的投影畸變校正研究

摘要： 光學(xué)元件在使用基于計(jì)算機(jī)控制光學(xué)表面成形技術(shù)(Computer Controlled Optical Surfacing, CCOS)的設(shè)備進(jìn)行迭代加工時(shí)，需要導(dǎo)入光學(xué)干涉測(cè)量的面形數(shù)據(jù)。而使用無(wú)像差點(diǎn)法的自準(zhǔn)直檢測(cè)光路測(cè)量離軸凹拋物面反射鏡時(shí)，由光路產(chǎn)生的投影畸變會(huì)使檢測(cè)的面形圖發(fā)生變形，進(jìn)而導(dǎo)致工件的面形質(zhì)量難以快速收斂。針對(duì)此問(wèn)題，本研究提出了一種基于自準(zhǔn)直檢測(cè)光路的離軸... （共7頁(yè)）