坐標統(tǒng)一用三棱臺標準器設計與精度分析

摘要： 為解決具有深孔、微槽、弧面等復雜特征微器件的高精度測量問題，需要采用微納米接觸式測頭和白光干涉測頭進行復合測量。而在這兩種測頭構成的復合測量系統(tǒng)中，現(xiàn)有標準器無法對其進行高精度的坐標統(tǒng)一。因此，根據(jù)兩種測頭的測量原理，提出一種三棱臺標準器來實現(xiàn)坐標統(tǒng)一。根據(jù)三棱臺標準器的結構特點，基于幾何原理，建立標準器幾何參數(shù)及其平面度對基準點坐標精度影響的數(shù)學模型。根據(jù)數(shù)學模型進行數(shù)值仿真... （共8頁）

標準器 坐標統(tǒng)一 復合測量 微納米接觸式測頭 白光干涉測頭