大口徑光學(xué)鏡面的扇形射流自動清洗技術(shù)

摘要： 針對目前大口徑鏡面無與之匹配的自動清洗設(shè)備的問題，提出了一種扇形射流自動清洗技術(shù)，對扇型噴嘴的結(jié)構(gòu)、布置形式和清洗力進(jìn)行了研究，噴射角度在25°～125°范圍內(nèi)可控，提出氣液混合清洗方式，結(jié)合自動化設(shè)備，在保護(hù)鏡面不受損傷的前提下，設(shè)計了一套針對大口徑光學(xué)鏡面的自動清洗裝置，可以在1 min內(nèi)完成鏡面清洗。通過Zeta儀對清洗后的鏡面形貌進(jìn)行觀測，剩余雜質(zhì)顆粒直徑<10μm，無... （共8頁）