質(zhì)譜儀用分離打拿極電子倍增器結(jié)構(gòu)優(yōu)化

摘要： 設(shè)計(jì)了一種用于質(zhì)譜儀的19級(jí)分離打拿極電子倍增器的結(jié)構(gòu)，構(gòu)建了器件結(jié)構(gòu)模型，仿真研究了打拿極和收集極的關(guān)鍵結(jié)構(gòu)參數(shù)及末級(jí)分壓電阻阻值對(duì)電子倍增器增益的影響，通過(guò)分析器件內(nèi)部電場(chǎng)分布和電子運(yùn)動(dòng)軌跡，探究了影響機(jī)理，在此基礎(chǔ)上對(duì)打拿極和收集極的結(jié)構(gòu)及末級(jí)分壓電阻進(jìn)行了優(yōu)化。仿真結(jié)果表明，當(dāng)?shù)?打拿極左側(cè)壁長(zhǎng)度和收集極頂部長(zhǎng)度分別為2.35 mm和1.9 mm并且末級(jí)分壓電阻阻值為0... （共7頁(yè)）