n~+/n~-型硅襯底擴(kuò)散片X_(jn+)理論分析與測試方法優(yōu)化

摘要： n型襯底擴(kuò)散片擴(kuò)散深度(X_(jn+))是n~+/n~-型硅襯底擴(kuò)散片最重要的參數(shù)之一，X_(jn+)的理論計(jì)算對磷擴(kuò)散生產(chǎn)和X_(jn+)測試具有重要的指導(dǎo)意義。但現(xiàn)有擴(kuò)散理論計(jì)算結(jié)果與實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)差異較大，需更精準(zhǔn)的計(jì)算方法。通過實(shí)驗(yàn)對X_(jn+)的測試與理論計(jì)算結(jié)果進(jìn)行對比分析，引入了修正系數(shù)k_n與k_p,得到理論計(jì)算與測試結(jié)果吻合的X_(jn+)計(jì)算方法。并根據(jù)修正后的... （共7頁）