不同柵氧退火工藝下的SiC MOS電容及其界面電學(xué)特性

摘要： SiC MOS電容的電學(xué)特性和柵氧界面特性是評價和改進SiC MOS器件制造工藝的重要依據(jù)。通過依次測試SiC MOS器件的氧化物絕緣特性、界面態(tài)密度、偏壓溫度應(yīng)力不穩(wěn)定性(偏壓溫度應(yīng)力條件下的平帶電壓漂移)、氧化物陷阱電荷密度和可動電荷密度的方法，對分別經(jīng)過氮等離子體氧化后退火(POA)處理、氮氫混合等離子體POA處理、氮氫氧混合等離子體POA處理、氮氫氯混合等離子體POA處... （共7頁）