基于等溫容腔的氣動隔振H∞主動控制

摘要： 氣動隔振是精密儀器和半導(dǎo)體制造中保持清潔、微振動工作環(huán)境的關(guān)鍵系統(tǒng)。被動氣動隔離不能滿足低頻隔振的需求，甚至?xí)a(chǎn)生共振現(xiàn)象。開發(fā)了一種基于等溫容腔的主動氣動隔振器，并采用H∞控制方法抑制低頻振動的干擾。首先，將等溫材料填充到隔振器的腔室中，以減少充氣和放氣過程中溫度變化的影響。然后，基于魯棒H∞控制理論，設(shè)計了一種能夠抑制低頻振動擾動、魯棒性高的控制器。最后，應(yīng)用1～10 Hz... （共8頁）