大行程磁阻驅(qū)動微定位平臺及其軌跡跟蹤控制

摘要： 麥克斯韋磁阻驅(qū)動器克服了傳統(tǒng)壓電陶瓷驅(qū)動器行程小及音圈電機推力密度和效率低等難題，在大行程高速微納米定位中具有極大的應(yīng)用潛力。設(shè)計了一種基于麥克斯韋磁阻驅(qū)動的大行程二自由度柔順微定位平臺，并對其進行了高性能軌跡跟蹤控制。該定位平臺由2個永磁偏置的麥克斯韋磁阻驅(qū)動器和二自由度并聯(lián)解耦柔性導向機構(gòu)組成，平臺利用磁阻驅(qū)動器的非線性負剛度來部分補償柔性導向機構(gòu)的彈性恢復力，有效提高了運... （共10頁）