矢量渦旋光場(chǎng)在激光微納加工中的應(yīng)用

摘要： 矢量光場(chǎng)領(lǐng)域在過(guò)去20年出現(xiàn)了眾多重要進(jìn)展。考慮到多篇綜述介紹了矢量光場(chǎng)產(chǎn)生方法以及調(diào)控技術(shù)，作者僅以矢量渦旋光場(chǎng)為線(xiàn)索總結(jié)了其在激光減材、改性以及增材等微納加工領(lǐng)域的典型應(yīng)用，回顧了矢量渦旋光在材料表面和內(nèi)部的微納結(jié)構(gòu)加工、光存儲(chǔ)以及立體微結(jié)構(gòu)光刻等應(yīng)用中的部分關(guān)鍵進(jìn)展。詳細(xì)介紹了基于定制光場(chǎng)的圖案化光致表面周期結(jié)構(gòu)以及立體微結(jié)構(gòu)快速雙光子光刻的原理與技術(shù)。最后，總結(jié)了矢量渦... （共17頁(yè)）