孔洞式偏振不敏感紅外超構(gòu)透鏡

摘要： 超構(gòu)透鏡通常由矩形、橢圓形或圓形柱狀微結(jié)構(gòu)按設(shè)計(jì)要求的相位有序排布，由于單元柱的結(jié)構(gòu)尺寸為亞波長級，單元柱高度和長寬(或直徑)之比往往大于5,加工制備難度大，特別是對于激光直寫這種無需掩膜版、加工自由度高的微納加工方式，其加工精度還難以滿足對復(fù)雜陣列的單元柱進(jìn)行加工的需求。而激光直寫在開孔洞方面的加工精度和工藝穩(wěn)定性要明顯優(yōu)于雕刻微柱陣列。因此，文章研究了一種孔洞式紅外超構(gòu)表面... （共4頁）