基于誤差函數(shù)相位偏移的電場式時柵角位移傳感器自標(biāo)定
光學(xué)精密工程
頁數(shù): 11 2024-09-25
摘要: 比對標(biāo)定對于傳感器測量精度的保持和提升具有重要意義,但其易受現(xiàn)場環(huán)境限制,且成本昂貴。電場式時柵精度不斷刷新,尋找外部參考基準(zhǔn)也變得日益困難。針對這一難題,提出了以圓周封閉原則為基準(zhǔn),利用傅里葉級數(shù)的平移定律,將電場式時柵的誤差序列值以2π/n角位移值進(jìn)行移相,利用具有不同移相次數(shù)的誤差序列值進(jìn)行頻譜分析,互相補償缺失的諧波分量,最終利用各次諧波分量重構(gòu)傳感器誤差函數(shù)的自標(biāo)定方... (共11頁)
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