基于柔性機構(gòu)的二維共面精密運動平臺設計與實驗

摘要： 基于復合簧片型柔性導向機構(gòu)設計了一種大行程二維共面精密運動平臺，運用材料力學彎矩變形理論分析了平臺的剛度和最大行程。在滿足材料最大應力約束的條件下，對導向機構(gòu)進行結(jié)構(gòu)參數(shù)設計，加工精密運動平臺實驗樣機，搭建了平面度測量平臺。對16mm×16mm行程內(nèi)運動平面的平面度測量實驗分析結(jié)果表明，x軸直線度誤差為0.08μm,y軸直線度誤差為0.11μm,平面度為(0.26±0.12)μ... （共7頁）