石英微透鏡的制備及其測(cè)試技術(shù)研究

摘要： 提出一種利用光刻膠熱熔和等離子體刻蝕技術(shù)相結(jié)合的石英微透鏡陣列的制備工藝。詳細(xì)研究了熱熔和感應(yīng)耦合等離子體刻蝕等關(guān)鍵工藝，并確定了最佳工藝參數(shù)。最終在石英襯底上制備了不同尺寸和形狀的微透鏡陣列。微透鏡的幾何形貌和光學(xué)性能測(cè)試結(jié)果表明，所制備的石英微透鏡陣列具有很好的尺寸一致性，并且表面質(zhì)量高，測(cè)試焦距與理論計(jì)算值相吻合。該方法制備的石英微透鏡陣列具有良好的成像性能，可廣泛應(yīng)用于... （共7頁(yè)）

微透鏡陣列 石英 熱熔 電感耦合等離子體刻蝕 光學(xué)性能