基于模糊PID的微光學(xué)加速度計溫度控制系統(tǒng)研究

摘要： 微加速度計由于其體積小、測量精度高等優(yōu)點廣泛應(yīng)用于慣性導(dǎo)航等領(lǐng)域，基于光學(xué)測量原理的MOEMS(micro-opto-electro-mechanical system)加速度計不易受電磁干擾，擁有更高的測量精度，具有良好的發(fā)展前景。外界環(huán)境的變化會對微加速度計的性能產(chǎn)生不利影響，特別是環(huán)境溫度的變化，高精度微光學(xué)加速度計的光腔長度對于溫度十分敏感，從而導(dǎo)致探測精度下降，因此提... （共12頁）