基于GBK標量散射模型的超光滑光學(xué)元件表面特性參數(shù)預(yù)測方法

摘要： 在引力波探測系統(tǒng)中，要實現(xiàn)對引力波的高精度測量，超光滑光學(xué)元件散射特性至關(guān)重要。然而，現(xiàn)有光學(xué)元件表面特性參數(shù)測量方法難以滿足超光滑光學(xué)元件的測量需求。針對這一難題，提出了一種基于GBK(Generalized Beckmann-Kirchhoff)標量散射模型的光學(xué)元件表面特性參數(shù)預(yù)測方法。利用GBK標量散射模型和基于光腔衰蕩技術(shù)的表面散射測量方法，建立了表征超光滑光學(xué)元件表... （共9頁）