基于反射率修正的柱透鏡面形光譜共焦測量研究

摘要： 為實(shí)現(xiàn)柱透鏡面形的精確測量，研究了反射率引起的面形測量誤差。首先介紹了光譜共焦位移傳感系統(tǒng)的工作原理，并在空間坐標(biāo)系下利用柱透鏡的結(jié)構(gòu)參數(shù)，推導(dǎo)了系統(tǒng)的光譜響應(yīng)，建立了柱透鏡面形測量模型。然后，對由各點(diǎn)反射率引起的光譜曲線譜峰漂移，以及這種漂移導(dǎo)致的面形測量誤差進(jìn)行了理論研究和仿真分析。。為修正透鏡曲面反射率對測量結(jié)果的影響，采用S-G濾波及高斯擬合實(shí)現(xiàn)濾波和光譜信號峰值波長的... （共8頁）

面形測量 反射率修正 光譜共焦 峰值漂移 柱透鏡