饋通對硅微機(jī)械陀螺零偏影響及其抑制研究

摘要： 硅微機(jī)械陀螺儀激勵(lì)電極及讀出電極間存在寄生電容，進(jìn)而在讀出信號中引入與其同頻同相的饋通干擾信號。針對此現(xiàn)象，采用時(shí)域法對饋通干擾下力平衡模式的零偏特性進(jìn)行理論推導(dǎo)，通過Simulink仿真及實(shí)驗(yàn)對結(jié)論進(jìn)行驗(yàn)證。研究表明：饋通干擾導(dǎo)致力平衡模式驅(qū)動(dòng)力一定時(shí)，陀螺零偏隨模態(tài)頻差改變發(fā)生變化。隨后根據(jù)硅微機(jī)械陀螺儀靜電力生成原理，設(shè)計(jì)一種采用半頻諧振信號檢測環(huán)路力平衡的控制系統(tǒng)，并通... （共6頁）