基于靜電力的非接觸式微懸臂梁剛度標定方法

摘要： 微懸臂梁剛度的標定在工業(yè)和學術研究中有重要的意義。傳統(tǒng)微懸臂梁標定方法存在粘附摩擦、接觸磨損等缺點。為了有效解決傳統(tǒng)剛度標定中接觸摩擦的難題，本文提出一種基于靜電力的非接觸式微懸臂梁剛度標定方法。該方法將靜電力作為標準載荷施加于微懸臂梁末端，基于胡克定律計算微懸臂梁剛度。對平行極板結構進行了數(shù)值模擬，結果顯示微懸臂梁與參考極板的相對位置存在較小的偏差時，靜電力偏差小于5%。靜電... （共10頁）