石英撓性加速度計(jì)擺片特性仿真研究

摘要： 通過優(yōu)化撓性梁的結(jié)構(gòu)厚度來探究結(jié)構(gòu)變化對石英撓性加速度計(jì)的擺性、固有頻率、諧響應(yīng)和過載特性的影響，利用有限元Ansys分析軟件進(jìn)行仿真，得出擺片關(guān)鍵約束因素?fù)闲粤汉穸仍?.03 mm時(shí)，擺片靈敏度最高，一階固有頻率也就是工作頻率為23.076 Hz,撓性梁端部最大形變?yōu)?.753 98 mm,最大應(yīng)力為23.978 MPa。該研究為后續(xù)的適用于重力梯度測量的超高靈敏度石英撓性加... （共4頁）