基于三浦折紙電容式壓力傳感器的仿真與優(yōu)化
傳感器與微系統(tǒng)
頁數: 4 2024-10-08
摘要: 柔性電容式壓力傳感器的靈敏度通常隨壓力的增加而衰減,這可能會影響其在具有環(huán)境壓力情況下的應用。基于三浦折紙結構的柔性電容式壓力傳感器由于其特殊的折疊方式,可以同時改變電極之間的距離和正對面積來提高電容的相對變化率。本文通過有限元仿真驗證了三浦折紙電容式壓力傳感器的靈敏度隨壓力的增加而增大的變化規(guī)律。此外,仿真了不同初始二面角和厚度的三浦折紙傳感器在不同壓力下的電容變化情況,從結... (共4頁)
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