采用菱形輻條的高對(duì)稱MEMS蜘蛛網(wǎng)狀盤式諧振陀螺儀
微納電子技術(shù)
頁(yè)數(shù)： 7 2024-05-29
摘要： 微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)陀螺儀因抵抗制造誤差能力差和品質(zhì)因數(shù)低等問題限制了其在高端領(lǐng)域的應(yīng)用。通過對(duì)MEMS陀螺儀的理論分析和有限元仿真，基于絕緣體上硅(SOI)工藝設(shè)計(jì)并制備出了一種由多個(gè)同心嵌套的蜘蛛網(wǎng)環(huán)和菱形輻條組成的新型MEMS盤式諧振陀螺儀。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，該陀螺儀的驅(qū)動(dòng)諧振頻率為42.749 kHz,感應(yīng)諧振頻率為42.798 kHz,頻率失配為1.145×10~(... （共7頁(yè)）
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