石英單晶微機(jī)械陀螺儀研究進(jìn)展

摘要： 對Z切、ST切、AT切三種切割方式的石英單晶微機(jī)械陀螺儀的基本工作原理進(jìn)行了闡述，梳理了不同類型陀螺儀的發(fā)展歷程，重點(diǎn)介紹了三種石英單晶微機(jī)械陀螺儀的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)、性能特點(diǎn)及其應(yīng)用場景，并從靈敏度、動態(tài)范圍、穩(wěn)定性、抗沖擊性及工作頻率等方面對三種類型石英微機(jī)械陀螺儀各自的性能優(yōu)勢與面臨的技術(shù)挑戰(zhàn)進(jìn)行了評述，總結(jié)了當(dāng)前國內(nèi)外在石英單晶微機(jī)械陀螺儀研究領(lǐng)域的主要進(jìn)展和創(chuàng)新點(diǎn)。最后，針對... （共14頁）

石英 微機(jī)械陀螺儀 壓電效應(yīng) Z切音叉微機(jī)械陀螺儀 ST切表面聲波微機(jī)械陀螺儀 AT切厚度剪切振動陀螺儀 微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)