基于自適應有限時間控制策略的高分辨率顯微鏡運動控制
中國機械工程
頁數: 10 2024-05-08
摘要: 針對大數值孔徑顯微成像技術對物鏡位移臺提出的長行程、高精度和大負載的要求,提出了一種非線性魯棒運動控制策略以實現(xiàn)物鏡位移臺的精密運動。設計了大數值孔徑顯微鏡的光路系統(tǒng)、虛擬樣機以及由滾珠絲杠驅動的物鏡位移臺,采用雙螺母預緊的方式消除滾珠絲杠傳動間隙。將自適應技術引入非奇異終端滑??刂?,實現(xiàn)系統(tǒng)狀態(tài)的有限時間收斂,提高系統(tǒng)魯棒性。針對滾珠絲杠傳動機構內部的非線性摩擦效應,采用時延... (共10頁)
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