自激式電感耦合等離子體光源設(shè)計及光譜分析

摘要： 電感耦合等離子體(ICP)光譜儀是一種應(yīng)用范圍很廣的元素分析儀，主要用于元素定性與定量的分析。ICP光源是光譜儀的核心部件，它在光譜儀中扮演著至關(guān)重要的角色。目前主流的ICP光源有兩種：自激式和他激式，各自具有優(yōu)缺點。他激式光源電路復(fù)雜、體積龐大、阻抗匹配速度較慢、最大輸出功率有限。設(shè)計了一種基于鍍金工藝的高功率MOSFET和變頻實現(xiàn)阻抗匹配的自激式ICP光源，該光源采用射頻放... （共6頁）