長波紅外寬角超透鏡陣列的設(shè)計(jì)與制備

摘要： 基于全硅材料設(shè)計(jì)并制備了一種長波紅外寬角超透鏡陣列器件，為了減少寬角入射光聚焦引起的單色像差，通過引入角度依賴的相位分布函數(shù)對(duì)陣列中每個(gè)子透鏡進(jìn)行相位分布設(shè)計(jì)，使每個(gè)子透鏡能夠?qū)μ囟ń嵌鹊膮^(qū)域進(jìn)行清晰成像，將分別負(fù)責(zé)不同角度的子透鏡所成像進(jìn)行拼接處理即可獲得寬視場(chǎng)角成像。經(jīng)測(cè)試該超透鏡陣列器件成像視場(chǎng)角與設(shè)計(jì)保持一致，視場(chǎng)角大于60°，該設(shè)計(jì)為紅外成像系統(tǒng)提供了一種超輕超薄、寬... （共8頁）