基于4H-SiC的低橫向靈敏度壓阻式加速度計設(shè)計仿真研究

摘要： 文中基于4H-SiC設(shè)計了一種開槽式低橫向靈敏度壓阻式加速度計，通過分析支撐梁位置及開槽尺寸對加速度計性能的影響確定了相關(guān)結(jié)構(gòu)參數(shù)，并對該結(jié)構(gòu)采用有限元方法進行了熱-力耦合仿真，確定了該結(jié)構(gòu)在600℃溫度場中施加不同載荷時的理論電壓輸出。研究結(jié)果表明：該結(jié)構(gòu)相較于已有的雙端四梁結(jié)構(gòu)X軸方向的橫向靈敏度由3.3%降至2.6%,Y軸方向橫向靈敏度由29.9%降至1.5%,傳感器芯片...