基于球柱狀電流變工具的工件表面形貌演化機理研究

摘要： 在電流變液體特性基礎上，開發(fā)一種球柱狀電流變拋光工具，研究加工工件表面形貌演化機理?；赑reston方程和赫茲彈性接觸摩擦理論，建立球柱狀電流變工具的材料去除深度模型與工件表面輪廓演化模型。定點加工實驗顯示，工件表面輪廓線與理論預測下的輪廓線相近，換算成深度材料去除速率，最大偏差值為55nm/min。行進加工實驗顯示，理論計算輪廓在寬度和深度方向上與實際加工區(qū)域的測量尺寸接近...