基于球柱狀電流變工具的工件表面形貌演化機(jī)理研究

摘要： 在電流變液體特性基礎(chǔ)上，開發(fā)一種球柱狀電流變拋光工具，研究加工工件表面形貌演化機(jī)理。基于Preston方程和赫茲彈性接觸摩擦理論，建立球柱狀電流變工具的材料去除深度模型與工件表面輪廓演化模型。定點(diǎn)加工實(shí)驗(yàn)顯示，工件表面輪廓線與理論預(yù)測(cè)下的輪廓線相近，換算成深度材料去除速率，最大偏差值為55nm/min。行進(jìn)加工實(shí)驗(yàn)顯示，理論計(jì)算輪廓在寬度和深度方向上與實(shí)際加工區(qū)域的測(cè)量尺寸接近... （共10頁(yè)）